超厚付け貴金属めっき（Rh）

超厚付け貴金属めっき（Rh）

特徴

H-8

① 圧縮応力であるため100μmの超厚付けを実現
② 超厚付けが可能なためMEMS用途で採用

F-20

① 低応力のため厚付けが可能
② 厚付けで初めて比抵抗10μΩ・cm以下を実現

超厚付け貴金属めっき（Rh）

物性データ

    H-8 F-20 Other
company
Thickness μm ～100 ～10 ～2
Internal stress MPa -370 +180 +550
Specific
electrical resistance		 μΩ･cm 65 9.2 -
Hardness Hv 930 1020 800～900

環境対応

アレルギー反応が出にくい金属であるため医療分野で使用

貴金属であるため回収が可能

毒物は不使用

ロジウムめっきによるMEMSなどの実例

ロジウムめっき膜の特徴

  1. 低抵抗
  2. 厚付け
  3. Snと反応しにくい
  4. 耐摩耗

用途

  • 電子部品や接点部品（プローブカード，プローブピン，リードスイッチ）
  • 電鋳による精密機械部品（MEMS）
  • 光学部品（反射板）
  • 工業部品
  • 医療分野（マンモグラフィー用フィルター，X線不透過マーカー）